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高溫真空爐的分子泵機組操作流程

作者: 發(fā)布時間:2018-09-25 瀏覽次數(shù):1319
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在高溫真空爐開始升溫前檢查水路各閥門是否能打開,水流是否通暢。做好高溫爐開機前的準備工作后,打開手動閥,就可以按下總電源控制面板上的“機械泵開”按鈕啟動機械泵,這時“機械泵開”按鈕顯示燈亮。開真空計,等待真空計低真空部分顯示<10Pa時(如有旁抽,打開手動旁抽閥,由旁抽管路對系統(tǒng)預(yù)抽真空。待低真空顯示<10Pa時,關(guān)閉手動旁抽閥。開主閥。真空顯示<10Pa時)打開分子泵電源,按下分子泵控制電源面板上的“啟動”按鈕,啟動分子泵。待分子泵達到正常轉(zhuǎn)速后57分鐘,這時應(yīng)該已經(jīng)達到真空計電離規(guī)允許啟動的真空度,按下真空計控制電源電離部分的“開電離”按鈕,觀察真空計高真空數(shù)值。

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